ยางเพอร์ฟลูออโรอีเธอร์ (FFKM)เป็นวัสดุซีลที่ดีเยี่ยม เนื่องจากประสิทธิภาพที่เหนือกว่า จึงมีการใช้อย่างแพร่หลายทั่วทั้งระบบการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุสิ้นเปลืองหลักอย่างหนึ่งที่จำเป็นสำหรับการผลิตวงจรรวมคือวงแหวนปิดผนึกเพอร์ฟลูออโรอีเทอร์
โมโนเมอร์หลักในยางเพอร์ฟลูออโรอีเทอร์คือเตตราฟลูออโรเอทิลีนและเปอร์ฟลูออโรอัลคิลไวนิลอีเทอร์ ซึ่งถูกโคพอลิเมอร์ร่วมกับโมโนเมอร์ตัวที่สามจำนวนเล็กน้อยที่มีจุดวัลคาไนเซชัน เป็นยางที่ไม่มีพันธะ CH เลย ปริมาณฟลูออรีนในโครงสร้างโมเลกุล โครงสร้างและปริมาณของอีเทอร์ไวนิลเพอร์ฟลูออริเนต พลังงานพันธะและปริมาณของพันธะเชื่อมขวางในกระบวนการวัลคาไนซ์ ล้วนมีอิทธิพลต่อประสิทธิภาพของสารประกอบวัลคาไนซ์และอุณหภูมิการเปลี่ยนสถานะคล้ายแก้ว โครงสร้างและส่วนประกอบมีความแตกต่างกัน เช่นเดียวกับประสิทธิภาพ ต่อไปนี้เป็นลักษณะการทำงานหลักของยางเพอร์ฟลูออโรอีเทอร์:
1) คุณสมบัติทางกายภาพ: ความหนาแน่นคือ 1.9-2.0g/cm3 คุณสมบัติทางกายภาพและทางกลคล้ายกับยางฟลูออโร และชุดการบีบอัดที่อุณหภูมิสูงนั้นเหนือกว่ายางฟลูออโร
2) ความทนทานต่อสารเคมี: ทนต่อสารเคมี
3) ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและต่ำ: อุณหภูมิในการทำงานโดยทั่วไปอยู่ที่ 260290 องศา แต่สามารถใช้งานได้เป็นระยะที่ 316 องศา Tg (อุณหภูมิการเปลี่ยนสถานะคล้ายแก้ว) ของยางเพอร์ฟลูออโรอีเทอร์บางชนิดคือ -19 องศา
4) ความต้านทานต่อไอน้ำอุณหภูมิสูง
5) ปริมาณน้ำฝนและการปล่อยต่ำ
6) ความต้านทานต่อพลาสมา
มีความสะอาดสูงและมีลักษณะผลิตภัณฑ์ที่มีการตกตะกอนต่ำในสภาพแวดล้อมของพลาสมา และสามารถทนต่อแรงกระแทกของพลาสมาได้เป็นเวลานานความน่าเชื่อถือของปะเก็นอีลาสโตเมอร์เป็นสิ่งสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และต้นทุนในการหยุดการผลิตเพื่อเปลี่ยนปะเก็นนั้นสูงมาก ข้อกำหนดด้านความสะอาดและความบริสุทธิ์ของซีลมีความเข้มงวดอย่างยิ่งเพื่อหลีกเลี่ยงความเสี่ยงที่อาจเกิดขึ้น ในเวลาเดียวกัน ซีลจะต้องสามารถทำงานได้เป็นระยะเวลานานภายใต้ความกดดันของสุญญากาศสูง ก๊าซเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง
วัตถุดิบยางเพอร์ฟลูออโรอีเทอร์มีราคาแพงและมักใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทนต่อการกัดกร่อนของพลาสมา การกัดกร่อนของก๊าซ การกัดกร่อนของกรดและด่าง การกัดกร่อนที่อุณหภูมิสูง ข้อกำหนดความสะอาดสูงสำหรับซีลยาง ช่วยรักษาความสมบูรณ์ของซีล ลดเวลาการบำรุงรักษา และปรับปรุงความปลอดภัย และเป็นซีลที่ดีที่สุดสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุ.